专利名称：一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装
置
专利类型：实用新型专利
发明人：陈本永,张恩政,严利平,杨涛,周砚江申请号：CN200920123265.5申请日：20090622公开号：CN201413130Y公开日：20100224
摘要：本实用新型公开了一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置。它包括输出正交线偏振光的激光器，普通分光镜，消偏振分光棱镜，偏振分光棱镜，渥拉斯顿棱镜，三个检偏器，三个光电探测器和由直角棱镜组成的测量反射镜。本实用新型利用光学器件的偏振特性和分光特性组成了基于外差干涉原理的双光路测量结构，通过测量双光路的光程差实现了直线度及其位置的同时测量，具有纳米级的直线度及其位置的测量精度。本实用新型主要适用于超精密加工技术、微光机电系统、集成电路芯片制造技术等领域所涉及的精密工作台的运动位移测量、精密导轨的直线度检测等。
申请人：浙江理工大学
地址：310018 浙江省杭州市江干区经济技术开发区白杨街道2号大街5号
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：林怀禹
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