真空单位换算

1 Pa 帕 Pa 1 托 微米汞柱 毫巴 mbar 10-2大气压 atm 9.86923 ×10-6工程大气压 am 1.0197 ×10 5Torr μmHg 7.5 ×10-3 7.5 10 3 1 Torr 133.32 1 1.3332 1.3332 ×10-31.31579 ×10-31.3595 ×10-3 1 μmHg 0.13332 101 mbar 10 2-3 1 7.5 ×10 21.31579 ×10-61.3595 ×10-6 7.5 ×10-1 1 9.86923 ×10-41.0197 ×10-3 饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元: \"水和水蒸气热力性质图表

\" p4～10 )

温度℃ 水蒸气压力 MPa 相应真空度 MPa 温度℃ 水蒸气压力 MPa 相应真空度 MPa 温度℃ 水蒸气压力 MPa 相应真空度 MPa 温度℃ 水蒸气压力 MPa 相应真空度 MPa 温度℃ 水蒸气压力 MPa 温度℃ 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40 0.002 0.00298 0.00336 0.00378 0.00424 0.00475 0.00532 0.00594 0.00662 0.00738 0.09869 0.09835 0.09797 0.09755 0.09709 0.09658 0.09601 0.09539 0.09471 0.09395 42 44 46 48 50 52 56 58 60 0.00820 0.00910 0.01009 0.01116 0.01234 0.01361 0.01500 0.01651 0.01815 0.01992 0.09313 0.09223 0.09124 0.09017 0.0 0.08772 0.08633 0.08482 0.08318 0.08141 62 66 68 70 72 74 76 78 80 0.02184 0.02391 0.02615 0.02856 0.03116 0.03396 0.03696 0.04019 0.04365 0.04736 0.07949 0.07742 0.07518 0.07277 0.07017 0.06737 0.037 0.06114 0.05768 0.05397 82 84 86 88 90 92 94 96 98 100 0.05133 0.05557 0.06011 0.095 0.07011 0.07561 0.08146 0.08769 0.09430 0.10133 0.05000 0.04576 0.04122 0.03638 0.03122 0.02572 0.01987 0.013 0.00703 102 104 106 108 110 112 114 116 118 0 120 0.10878 0.11668 0.12504 0.13390 0.14327 0.15316 0.16362 0.17465 0.18628 0.198 122 124 126 128 130 132 134 136 138 140 水蒸气压力 MPa 0.21145 0.22504 0.23933 0.235 0.27013 0.27831 0.30407 0.32229 0.34138 0.36138

真空计算常用公式

1、玻义尔定律

体积V，压强P，P·V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。

即P1/P2＝V2/V1）

2、盖·吕萨克定律

当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）

当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。

3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2

在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。

4、平均自由程：

λ＝(5×10-3)/P (cm)

5、抽速：

S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P

Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托) V＝体积(升) t＝时间(秒)

6、通导： C＝Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽气时间：

对于从大气压到1托抽气时间计算式： t＝8V/S (经验公式)

（V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。）

8、维持泵选择：

S维＝S前/10

9、扩散泵抽速估算：

S＝3D2 (D＝直径cm）

10、罗茨泵的前级抽速：

S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)

11、漏率：

Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)

Q漏－系统漏率(mmHg·l/s) V－系统容积(l)

P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)

P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

t－压强从P1升到P2经过的时间(s)

12、粗抽泵的抽速选择：

S＝Q1/P预 (l/s)

S=2.3V·lg(Pa/P预)/t

S－机械泵有效抽速 Q1－真空系统漏气率(托·升/秒)

P预－需要达到的预真空度(托) V－真空系统容积(升)

t－达到P预时所需要的时间 Pa－大气压值(托）

13、前级泵抽速选择：

排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：

PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn

Sg－前级泵的有效抽速(l/s) Pn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)

Pg－真空室最高工作压强(托) S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

14、扩散泵抽速计算公式：

S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)

式中：S－被试泵的抽气速率(l/s) n－滴管内油柱上升格数(格)

t－油柱上升n格所需要的时间(秒) P－在泵口附近测得的压强(托)

K－滴管系数(托·升/秒) K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt

其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升) L－滴管刻度部分的长度(mm)

n－滴管刻度部分的格数(格) Υ0－油的比重(克/厘米3)

Υm－汞的比重(克/厘米3) Pa－当地大气压强(托)

△Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)

15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：

S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)

式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95％)。

16、O型橡胶槽深B＝0.7D

D为橡胶直径，槽宽C＝1.6B

17、方形橡胶槽深B＝0.8A

A为方形橡胶边长，槽宽C＝1.67B