专利名称：一种ITO蚀刻装置专利类型：实用新型专利发明人：兰凯锋
申请号：CN201822259148.3申请日：20181230公开号：CN209497698U公开日：20191015
摘要：本实用新型公开了一种ITO蚀刻装置，包括操作台和设在操作台上的滑动座、隔离箱和气缸，气缸连接滑动座用于推动滑动座进入隔离箱，滑动座上设用于固定物料的物料台和对物料进行蚀刻的蚀刻机构，隔离箱设一个面开口容许滑动座进入，并且滑动座进入隔离箱之后可通过插入隔离箱将隔离箱封闭，使蚀刻过程在封闭的隔离箱内进行，产生的烟气不会与外部的工作人员接触，不会对工作人员产生人身伤害。
申请人：湖北仁齐科技有限公司
地址：438000 湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路
国籍：CN
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