专利名称：氮化镓系烧结体和其制造方法专利类型：发明专利发明人：召田雅实,仓持豪人申请号：CN202010696987.0申请日：20160324公开号：CN111826618A公开日：20201027
摘要：本发明的目的在于，制造低氧量、高密度、低电阻的氮化镓薄膜用溅射靶材。通过利用为含氧量少、体积密度高的粉末物性的氮化镓粉末，在高温、高真空下进行热压处理，从而可以制作低氧量且高密度、低电阻的氮化镓烧结体。
申请人：东曹株式会社
地址：日本山口县
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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