专利名称：一种单色渐变膜及其制备方法、光罩专利类型：发明专利发明人：王弦,刘春华,张朱明申请号：CN202011124213.7申请日：20201020公开号：CN112198757A公开日：20210108
摘要：本申请公开了一种单色渐变膜及其制备方法，该方法包括提供一光罩，所述光罩上设有预设图案，预设图案包括多个面积不等的遮光点，遮光点在预设方向上呈连续渐变趋势；获得包括基底和干膜光阻的预处理基底，干膜光阻对应光罩上遮光点的间隙区域；在预处理基底的上表面形成厚度一致的薄膜，然后去除干膜光阻，得到单色渐变膜。本申请通过提供预设有预设图案光罩，以干膜光阻为介质，使基底上表面形成与预设图案一致的薄膜，薄膜由与遮光点面积一样的小薄膜区域组成，小薄膜区域的面积在预设方向上呈连续渐变趋势，从而产生渐变效果，又因为薄膜厚度一致，颜色是单一的，所以得到颜色单一且渐变的单色渐变膜。本申请还提供一种光罩。
申请人：蓝思科技(长沙)有限公司
地址：410100 湖南省长沙市长沙经济技术开发区漓湘路99号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：王晓坤
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