专利名称：非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测
量方法
专利类型：发明专利
发明人：刘钰,苗亮,张文龙,马冬梅,金春水申请号：CN201510962256.5申请日：20151221公开号：CN105627945A公开日：20160601
摘要：非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法，涉及超高精度非球面面形检测加工领域。该方法为在以非球面元件外圆为中心做四个标记点；调节非球面元件使非球面面形测量装置光轴、非球面光轴及转台转轴相一致；当转台处于0度位置时检测非球面，记录4个标记点此时在干涉仪CCD上的像素位置坐标，得到非球面元件外圆中心的像素位置坐标(X1，Y1)；转台在0度、90度、180度以及270度位置处检测非球面，记录4个角度位置下任一标记点在的像素位置坐标，得到非球面中心的像素位置坐标(X2，Y2)；非球面中心与非球面元件外圆中心偏离的像素数为(X1-X2，Y1-Y2)，偏离量为(X1-X2，Y1-Y2)乘以像素分辨率。本发明结构简单、成本低、精度高。
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址：130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
国籍：CN
代理机构：长春菁华专利商标代理事务所
代理人：于晓庆
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