可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统[实用新型专利]

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专利名称：可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统专利类型：实用新型专利发明人：师树恒,王斌,朱健强申请号：CN200720066604.1申请日：20070124公开号：CN201003945Y公开日：20080109

摘要：一种用于高功率激光系统的可调F－P干涉仪极间距的在线监控系统。该监控系统包括：一电容传感器，该电容传感器第一极板安装在所述固定平台上，电容传感器第二极板可靠接地，且安装在由压电陶瓷驱动器驱动的所述微位移平台上，所述电容传感器第一极板经传感器测量电路、A/D转换器与主控制器的输入端相连，该主控制器的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器相连。本实用新型使F－P干涉仪的间距稳定度保持在15nm/h以内，幅度调制效应的调制深度始终优于4％，能够很好地满足幅度调制效应补偿装置的技术要求。

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所

地址：201800 上海市800-211邮政信箱

国籍：CN

代理机构：上海新天专利代理有限公司

代理人：张泽纯

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